kurtz ersa

製品情報|高性能はんだ付け装置、最先端のソリューションをご提案する会社。ドイツERSA社 日本正規代理店 ダイナテック株式会社

  DYNATECH
 
 
オンラインストアバナー
 
柏ショールームバナー
 
kurt ersaバナー
 
 
 
メイン画像
製品ラインアップ
ヤチオ・コーポレーション製 マスク検査装置
ますます高密度化が進むプリント回路パターン検査を、独自の画像処理技術を用いて、機能・操作性・価格を極限まで追求し開発されたのが、ヤチヨ・コーポレイション製マスク検査装置です。
【新機種 XET Saries 登場!】
シンプル & ローコストの基本コンセプトはそのままに、ハードウェア・ソフトウェア構成を大幅に見直し、より使いやすく、さらに高性能に生まれ変わりました。
■約3倍の検査スピード
新開発の画像処理ユニット・高速センサにより、Marvelシリーズに比べ、約3倍の検査スピードが可能になりました。ファインパターンや大判マスクの検査に威力を発揮します。
また、処理方法・ユーザーインターフェースも見直し、べリファイ時間も大幅短縮が可能です。
シリーズ名 リリース年 検査時間
8000シリーズ 1995~ 175分
FirstFineシリーズ 1997~ 100分
Marvelシリーズ 2002~ 60分
XETシリーズ 2008~ 20分
検査エリア 500 x 500 分解能力 2μm DRC検査のみ
検査時間は検査条件等により変化します。
■検査精度アップ
独自開発の新画像処理ユニットにより、マッチング精度が向上しました。また、ハードウェア処理方式にした事で、画像の内容に左右されず高速な検査が可能です。さらに、データ比較機能がONの場合、CADイメージの自動解析を行い、検査領域をリアルタイムに作成することにより、今まで疑似エラーが多発していたパターンについても、有効なDRC検査を行う事ができます。
■大容量データハンドリング
専用開発のCAMソフトウェアにより、今まで難しかった大容量データもハンドリング出来るようになりました。
■各種ワーク対応
従来のラインナップ同様、フィルムマスク・ガラスマスク・スクリーンマスク・メタルマスクのパターン検査が可能です。
また、必要に応じ、表面の傷・汚れ・突起等の検査も可能です。上記以外のワークにつきましてもご相談下さい。
■選べるラインナップ
分解能により「Basic ~ Nanoタイプ」のラインナップを用意しました。ご希望の欠陥検出サイズによりタイプをお選び下さい。
また、従来のFPT-Marvelと同等の検査スピードの「Simple」タイプを用意してお求め易い価格で販売致します。8000シリーズ・FirstFineシリーズの置き換えに最適です。
■特注サイズ・特注機能も承ります
ワークサイズ2m以上のガラスマスク検査装置や、5mクラスのスクリーンマスク検査装置等の実績もあります。
主要な機能について自社によるハード / ソフトウェア開発を行っておりますので、特注機能や機能改造等できる限りの対応をさせて頂きます。
詳細仕様はカタログをご覧下さい(PDF915KB)
■カンタン操作
現場で操作する方の立場になって考えられた、「検査エリアを指定して、検査条件を選ぶ」だけの簡単操作で、後は自動的に検査を実行します。煩わしい操作は一切不要です。
■判定条件の設定もラクラク
高解像度CCDカメラと精密光学系の組み合わせにより、目視検査では見つけにくいパターンのピンホール・ブリッジ・切れ・欠け・傷・汚れ・ホコリ等を漏れなくキャッチします。
■独自の高速画像処理システム
ヤチヨ・コーポレイション独自開発の画像処理システムを搭載し、パターンの欠陥を確実且つ高速にキャッチして、独自のSLIMMING処理を始めとする高度の画像処理を施し、目視検査の数倍の高速処理を実現しました。
また、必要に応じてフィルター機能で微細な点欠陥や線欠陥を、任意の大きさでカット(不検出に)できます。さらに、鋭角部分を検出しにくくできますので、擬似エラーを最小限に抑制して高確度の欠陥情報を提供します。
■データ比較検査(オプション)
274D・274X・DXF・ODB++・GSDⅡなど主要フォーマットをサポートしており、前面データ出力・1Dieだけのデータ出力など、様々な組み合わせで検査が可能です。また、主要な編集機能により外部ソフトによる整形入力が不要なほか、高速なラスタライズ・ラスタライズのバッチ処理・ラスタライズの途中での検査開始も可能です。
 
このページのトップへ
 
■主な機種構成
●FGR-35 ガラスマスク検査装置
駆動方式 シャフトモーター方式
1画面サイズ 0.88㎜(5.0倍レンズ)
0.44㎜(10.0倍レンズ)
0.22㎜(20.0倍レンズ)
※購入時3種類のレンズから2種類を選択していただきます
分解能力 1.50μ(5.0倍レンズ)
0.8μ(10.0倍レンズ)
0.4μ(20.0倍レンズ)
検査最大サイズ 350㎜×350㎜
測定有効サイズ 300㎜×300㎜
本体外形寸法 W1250×D1450×H1400
システム外形寸法 PC横置きタイプ
W2000×D1500×H1800
搭載可能カメラユニット オートフォーカスのみ
検査時間(DRCのみ) -
検査速度(画面/秒) 120画面/秒
電源(50/60Hz) 100V 15A
重量 1200㎏以下
ガラスマスク検査装置・フィルムマスク検査装置画像
●FPT-80 フィルムマスク検査装置
駆動方式 タイミングベルト方式
1画面サイズ 10㎜~2.4㎜(DRCのみ)
10㎜~6㎜(面付け比較使用)
分解能力 16μ~4μ(DRCのみ)
16μ~10μ(面付け比較使用)
検査最大サイズ 700㎜×650㎜
測定有効サイズ 600㎜×500㎜
本体外形寸法 W1200×D1300×H1200
システム外形寸法 W1300×D1400×H1700
搭載可能カメラユニット オートベローズのみ
検査時間(DRCのみ) 2分26秒(実測値) A3サイズ 画面幅6㎜
検査速度(画面/秒) 120画面/秒
電源(50/60Hz) 100V 15A
重量 300㎏以下
 
このページのトップへ
 
●FGP-80 ガラスマスク検査装置
駆動方式 ボール軸方式
1画面サイズ 1.76㎜(2.5倍レンズ)
0.88㎜(5.0倍レンズ)
0.44㎜(10.0倍レンズ)
分解能力 3.00μ(2.5倍レンズ)
1.50μ(5.0倍レンズ)
0.44μ(10.0倍レンズ)
検査最大サイズ 700㎜×750㎜
測定有効サイズ 550㎜×550㎜
本体外形寸法 W1250×D1350×H1300
システム外形寸法 PC横置きタイプ
W2200×D1550×H1700
PC縦置きタイプ
W1400×D1550×H1950
搭載可能カメラユニット オートフォーカスorオートベローズ選択搭載
検査時間(DRCのみ) 50分03秒(実測値) A3サイズ 画面幅0.88㎜
04分08秒(実測値) A3サイズ 画面幅6㎜
検査速度(画面/秒) 120画面/秒
電源(50/60Hz) 100V 15A
重量 600㎏以下
ガラスマスク検査装置・フィルムマスク検査装置画像
●FPT-100 フィルムマスク検査装置
駆動方式 タイミングベルト方式
1画面サイズ 10㎜~2.4㎜(DRCのみ)
10㎜~6㎜(面付け比較使用)
分解能力 16μ~4μ(DRCのみ)
16μ~10μ(面付け比較使用)
検査最大サイズ 1000㎜×1100㎜
測定有効サイズ 900㎜×1000㎜
本体外形寸法 W1600×D1420×H1200
システム外形寸法 PC横置きタイプ
W2300×D1420×H1600
搭載可能カメラユニット オートベローズのみ
検査時間(DRCのみ) 2分26秒(実測値) A3サイズ 画面幅6㎜
検査速度(画面/秒) 120画面/秒
電源(50/60Hz) 100V 15A
重量 400㎏以下
 
このページのトップへ
新着情報
カタログ請求